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防静电瓷砖施工前的准备及施工步骤

发布时间:2022-02-09

    随着微电子器件的发展,静电对器件可靠性的危害变得越米越显著。防静电瓷砖在这方面,超大规模集成电路的发展,使得器件尺寸进一步缩小,这就使器件的静电变得更加敏感,新发展起来的特种器件如功率 MOS 器件、微波场效应器件,大多属于电敏感器件。另一方面,在微电子器件制造和应用环境中,作为静电来源的各种高分子材料被广泛采用,使得静电的产生更加容易和广泛。
 
    大多数情况下,器件受到的静电损伤是潜在的,即受到静电作用后电参数仍然合格或仅有轻微变化,但器件抗过电应力的能力己被削弱,或者其使用寿命已明显缩短,而且由静电产生的隐患很难事先察觉,也不可能通过常规老化筛选来予以排除,所以具有相当大的危险性,值得高度重视。
 
    微电子器件由静电放电引发的失效,可分为突发性失效和潜在性失效两种模式。突发性失效是指器件受到静电放电损伤厉,突然完全丧失其规定的功能,主要表现为开路、短路或参数严重漂移。潜在性失效是指静电放电能量较低,仅在器件内部造成轻微损伤,放电后器电参数仍然合格或略有变化。
 
    但器件的抗电过应力能力已经明显削弱,或者使用寿命已明显缩短,再受到工作应力或经过一段时间工作后将进一步退化,直到造成失效。在电子工业生产中.不产生静电是不可能的,而静电积聚和静电放电是产生危害的根源。电子工业中静电防护的根本目的就是在电子元器件、组件和设备的生产和使用过程中重视防静电。
 
    通过各种手段,对可能产生静电的地方要防止静电的积聚,并对己存在的静电积聚采取措施迅速消散掉。在生产过程中戴上防静电的腕带、工作服、鞋袜、帽和手套通过静电屏蔽,可以有效防止静电放电。
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